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半导体材料与器件研究中心张顺平副教授

发布时间:2021-06-03 编辑:罗裕波 林建丁 来源: 浏览次数:

半导体材料与器件研究中心张顺平副教授


       张顺平,材料学博士,威尼斯人注册网址副教授。长期从事气敏材料研发、气敏传感器阵列微型化制造、气体/气味分析仪器研制及应用方面的研究。主持国家自然科学基金2项,省部级研究项目3项;以第一作者或通讯作者发表SCI论文20余篇;获得国家发明专利10余项。开发了多种气体传感器,以及顶空式、泵吸式、手机附件式等多款气味分析仪,并与华为、武烟集团、化工材料研究所、核物理与化学研究所、防化学院等单位开展应用合作与推广,为相关单位提供了气体检测与气味分析成套解决方案。主要研究成果包含:


基于组合材料学方法,开发了气敏材料并行合成仪、气敏材料高通量测试仪,可高速的实现气敏材料高通量筛选。

                          

图1 气敏材料并行合成仪

                           

图2 气敏材料高通量测试仪


集成开发气体传感器微加工平台,实现非硅基气体传感芯片的MEMS制造技术,陶瓷基的光刻、磁控溅射、刻蚀、划片、微喷成膜、封装等功能。

                           

图3 气体传感器微加工平台

                           

图4 气体传感器微加工平台软件


设计并制造了16元件阵列微热板型气味传感器及模组,并基于该传感器,设计开发了系列化的、适用不同应用的测试仪器,包括:顶空气味分析仪、泵吸气味分析仪、U盘式气体传感模组、手环式气体检测仪等,并与相关企业合作,应用到烟草仓储、粮食霉变、皮革异味、中药质量监测等领域。

                           

图5 微热板阵列气味传感器芯片(左)及模组(右)

                           

图6 泵吸气味模组

                           

图7 顶空气味分析仪

                           

图8 手持泵吸检防化气体测仪

                           

图9 手持泵吸检防化气体测仪

                           

图10 U盘式气体传感模组


                           

图11 安全作业用气味报警智能手环

                           

图12 皮革异味检测

                           

图13 烟草仓储气味检测

                           

图14 中药质量检测

                           

图15 粮食发酵检测

                           

图16 粮食霉变检测

      个人主页:http://faculty.hust.edu.cn/zhangshunping/zh_CN/index/1376809/list/index.htm